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金属-氧化物-半导体高K栅介质 HfTaON 氮氧化铝氮化 MOS high-k gate dielectric HfTaON AION nat

先进的Hf基高k栅介质研究进展

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高介电常数 HFO2 HFON HFSION HfTaON high-k HfO2 HfON HfSiON HfTaON

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